本电源用于为XNE型电子束蒸发源提供偏转和扫描电源，采用数字处理方式，通讯方式为RS232或485.

额定电源电压：单相AC220V 频率50HZ

允许电源电压变化范围：额定电压±10%

偏转（或称位移）电流：lx(——)=0~±3A ly(——)=0~±3A

扫描电流：lx(——)=lx(——)±0.25A ly(——)=ly(——)±0.5A

扫描波形：可编程

扫描频率：0~500HZ可调

偏转保护：（只对X方向而言）具有失偏、超偏保护，可以联锁高压或作其它控制用。且失偏，超偏值可调，以适应不同尺寸之坩埚。

根据用户要求还可以讲位移与扫描幅度与坩埚转动联锁，以适应不同材料的不同蒸发要求。