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电子束蒸发源及电源

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PS-2型、PS-3型偏转扫描电源
发布时间:2014-11-10    发布来源:兴南科技
产品简介

本电源是为为NE型或C型磁偏转式电子枪的电磁线圈提供偏转、扫描电流的专用电源。

额定电源电压:单相AC220V 频率50HZ

允许电源电压变化范围:额定电压±10%

偏转(或称位移)电流:lx(——)=0~±1.8A    ly(——)=0~±1.5A

扫描电流:lx(——)=lx(——)±0.25A    ly(——)=ly(——)±0.5A

扫描波形:三角波

扫描频率:0~20HZ可调

偏转保护:(只对X方向而言)具有失偏、超偏保护,可以联锁高压或作其它控制用。且失偏,超偏值可调,以适应不同尺寸之坩埚。

根据用户要求还可以讲位移与扫描幅度与坩埚转动联锁,以适应不同材料的不同蒸发要求。