特点：

180°电子束偏转，电子束聚焦最小光斑为3mm，电子束能垂直入射，体积小，尤其适用于小型真空室内镀制各种光学膜层。

技术指标

蒸发功率：4kw~8kw

加速电压：-4kv-8kv

电子束电流：0-1A

电子束偏转：180°

扫描范围X：±15mm

扫描范围Y：±15mm

扫描频率：0~500HZ