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在使用电子束蒸发源的真空镀膜设备中,为了获得高质量的膜层,要求高压电源具有调压和稳压功能。
TWY系列高压电源的特点是
体积小、重量轻
可方便调节高压
调压后可稳定在所设定的电压上,电压不随电网电压和束流的变化而变化
电压输出波纹小
由于这些特点,可获得高质量的镀膜效果。传统的高压电源是无法与此电源相比的。
技术指标
输入电压:三相交流380v±10%
输出电压:-4kv~10kv连续可调
输出电流:0~1A
输出波纹:≤0.1%