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光学膜厚测量控制系统

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GM-X03、GM-X04型光学膜厚测量控制仪
发布时间:2014-11-10    发布来源:兴南科技
产品简介

特点:

仪器属相位锁定放大器。用于光学镀膜膜厚测量和控制


主要技术数据

主信号通道:电压单端输入

输入型号量程:GM-X03型:5、50、500mv三档

GM-X04型:0.5、5、10、50、500mv五档

参考信号通道:电压单端输入

灵敏度:≥20mv

频率范围:1000HZ±5% 500HZ±5% 250HZ±5%

响应时间:GM-X03型:3ms

GM-X04型:0.5ms、1ms、3ms、10ms、20ms五档

本机噪声:≤4nV


相位锁定范围:≥270°

工作方式:手动锁定相位

线性误差:≤0.1%

温度漂移:≤0.2%(小时)

显示:数字表,模拟表

电源:220VAC/50HZ

功耗:≤30W

使用环境:0~4℃    35-85%RH

外型尺寸:430(480)X325X 100(133)

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