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电子束蒸发源及电源

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XNE型新型电子枪
发布时间:2014-11-06    发布来源:兴南科技
产品简介

特点:

新型结构,电子束270°偏转。能使电子束以垂直方向打在镀膜材料上,且能有效防止灯丝污染

磁路冷却好,磁场长期稳定

新型枪头设计,拆卸方便,安装位置精度高,聚焦性能稳定

配置新型扫描发生器,可分别为生成方形、圆形、条形光斑,扫描范围最高可达50mm,充分利用磨料,适应不同工艺需要

坩埚可分为多穴埚(4穴、6穴、8穴、12穴)、环形埚、香蕉形埚等,尺寸和大小可根据用户需要而定

坩埚水冷系统新型设计,冷却充分,最大蒸发功率大10kw

适用于各种高要求的光学膜、电学膜的镀制


技术指标

蒸发功率:4kw~10kw

加速电压:-4kv!-10kv

电子束电流:0-1A

电子束偏转:270°

扫描范围X:±15mm

扫描范围Y:±15mm

扫描频率:0~500HZ

上一个:C型180°电子枪