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特点:
新型结构,电子束270°偏转。能使电子束以垂直方向打在镀膜材料上,且能有效防止灯丝污染
磁路冷却好,磁场长期稳定
新型枪头设计,拆卸方便,安装位置精度高,聚焦性能稳定
配置新型扫描发生器,可分别为生成方形、圆形、条形光斑,扫描范围最高可达50mm,充分利用磨料,适应不同工艺需要
坩埚可分为多穴埚(4穴、6穴、8穴、12穴)、环形埚、香蕉形埚等,尺寸和大小可根据用户需要而定
坩埚水冷系统新型设计,冷却充分,最大蒸发功率大10kw
适用于各种高要求的光学膜、电学膜的镀制
技术指标
蒸发功率:4kw~10kw
加速电压:-4kv!-10kv
电子束电流:0-1A
电子束偏转:270°
扫描范围X:±15mm
扫描范围Y:±15mm
扫描频率:0~500HZ