实验室多功能真空薄膜沉积装置

实验室多功能真空薄膜沉积装置，可根据用户要求定制、设计、生产。多种蒸发源及真空系统可自由组合，灵活搭配。适用于制备金属薄膜、氧化物薄膜、半导体薄膜、有机薄膜等，广泛应用于大专院校、科研院所进行薄膜材料的科研与小批量制备。

设备结构：

* 无油真空系统

* 真空腔室尺寸可选

*  多种蒸发源系统可选

*  工件装夹形式可选

*  多功能、多用途

*  可根据用户需求定制