本电源为XNE型电子束蒸发源配套的电源，可在液晶显示屏设定并显示扫描参数，并可进行预溶设置，实现自动预溶及自动扫描功能。

· 额定电源电压：单相AC220 频率50Hz

· 允许电源电压变化范围：额定电压±10%

· 偏转（或称位移）电流：Ix（—）=0～±3A     Iy（—）=0～±3A

· 扫描电流：Ix（～）=±0.25A Iy（～）=±0.5A

· 扫描波形：可编程

· 扫描频率：0～499Hz

 · 偏转保护：（只对X方向而言） 具有失偏、超偏保护，可联锁高压或其他控制用，且失偏、超偏值可设定，以适应不同尺寸的坩埚

· 根据用户要求还可以将位移和扫描幅度与坩埚号对应，以适应不同材料蒸发时对光斑的不同要求。

· 数据采用数字处理方式，通讯方式为RS232或485