全自动红外膜镀膜机

此设备适用于红外产品中Ge、ZnS、ZnSe透镜及平板类中远红外零件减反射膜的镀制，以及其它分色膜、滤光膜等薄膜的研制和生产。

设备主要由真空及真空测量系统；电子束蒸发源；大功率旋转电阻蒸发源；离子束辅助蒸发系统；膜厚控制系统；工件加热系统以及自动控制系统等组成，电阻蒸发源可大功率、长时间稳定工作。可根据用户需求实现一键式操作：从抽真空—工件加热—材料预溶—离子清洗（辅助沉积）—镀制多层薄膜—放气取件的一键全自动功能。

  设备配置：

*  真空腔室尺寸可选

*  大功率电子枪

*  配置4～12位大功率旋转阻蒸

*  6点旋转石英探头

*  红外光控系统

*  选配离子源