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真空镀膜机

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全自动红外膜镀膜机
发布时间:2021-10-29    发布来源:兴南科技
产品简介

全自动红外膜镀膜机

此设备适用于红外产品中Ge、ZnS、ZnSe透镜及平板类中远红外零件减反射膜的镀制,以及其它分色膜、滤光膜等薄膜的研制和生产。

设备主要由真空及真空测量系统;电子束蒸发源;大功率旋转电阻蒸发源;离子束辅助蒸发系统;膜厚控制系统;工件加热系统以及自动控制系统等组成,电阻蒸发源可大功率、长时间稳定工作。可根据用户需求实现一键式操作:抽真空—工件加热—材料预溶—离子清洗(辅助沉积)—镀制多层薄膜—放气取件的一键全自动功能。

 

  设备配置:

*  真空腔室尺寸可选

*  大功率电子枪

*  配置4~12位大功率旋转阻蒸

*  6点旋转石英探头

*  红外光控系统

*  选配离子源