·无油真空系统
·真空腔室尺寸可选
·行星及整体式吊装夹具
·多电子枪多穴位可选
·多点旋转石英探头及侧面带挡板单探头
·配备高性能离子源
   本设备适用于重型、大口径光学元件蒸镀金属、介质等光学薄膜材料(如 Ag、AlTa205、SiO2AI203、HfO2等)可用于最大2米直径的大型光学元件进行各种薄膜镀制和改性。